对于光氧等离子废气处理设备主要是利用了等离子分解技术和UV紫外光解技术结合，对废气和臭气进行协同净化处理：有机废气和恶臭气体进入集成设备后，经过UV紫外光束区时，被紫外光波率地照射，瞬间产生光解反应；经过等离子体电场时，在纳秒 时间范围内，产生裂变分解反应；如此协同地产生 系光解和分解反应，经过多 净化后从而达标排放。
等离子区工作原理：当废气进入等离子光解 体机净化设备内时， 经过等离子体化学反应过程，即电子 从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离， 从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。（在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了 系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。）
光氧和等离子废气处理各采用什么原理
二重净化：光氧催化在释放大量C波段紫外线氧化分解恶臭废气分子同时并产生臭氧，臭氧 易分解，有很强的氧化性能破坏分解细菌的细胞壁，能很快地扩散透进细胞内，氧化分解有毒有害的废气分子，直接破坏废气大分子聚合物。3.三重净化：光触媒纳米粒子在特定波长的光线照射下受激生成电子空穴对，空穴分解催化剂表面吸附的水产生氢氧自由基，电子使其周围的氧还原成活性离子氧，从而具备 强的氧化还原作用，将光催化剂表面的各种污染物摧毁，后将其分解成水（H2O）和二氧化碳（CO2）。
低温等离子废气处理机理包含两个方面： 是在高压放电产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间足够打开 些有害气体分子的化学能，使之分解为单质原子或无害分子；二是等离子体由于是高压放电产生，其中包含大量的电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分臭气分子碰撞结合，在电场作用下，使臭气分子处于激发态。当臭气分子 获得的能量大于其分子键能的结合能时，臭气分子的化学键断裂，直接分解成单质原子或由单 原子构成得无害气体分子。同时产生的大量·OH、·HO2、·O 等活性自由基和氧化性 强的O3，与有害气体分子发生化学反应，终生成无害产物。
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